Ausstattung: Dünnschichttechnik

Galvanik

Technische Daten:
  • 4 x 3 Liter Behälter
  • Spül- und Dekapierwannen
  • Temperaturregelung
  • 15 V /15 A
  • vertikale Badbewegung
  • Maße der Anlage:
    Länge 820 mm, Breite 350 mm, Höhe 310 mm


 

PVD

PVD-Beschichtungsanlage Typ CC800/8
Fa. CemeCon

  • Beschichten von Werkzeugen und Bauteilen mit Hartstoffbeschichtungen
  • Entwicklung und Modifikation von hochfesten Schichten
    z.B.
  • TiN (Titan-Nitrid)
  • TiAlN (Titan-Aluminium-Nitrid)
  • DLC (Diamond like Carbon)
  • TiB2 (Titandiborid)

Transplantierte PVD-Hartstoffschicht

Technische Daten:

  • Maximale dcms - Verdampferleistung
    ( pro Kathode) 8.000 W
  • Maximaler Arc - Verdampferstrom
    200 A
  • Heizleistung 8.000 W (bis ~ 700 °C)
  • rf - Ätzplasma (bis 3.000 W)
  • 2 höhenverstellbare dcms - Verdampfer
  • 1 Arc-Hochleistungsverdampfer
  • Probentisch mit Planeten
  • 4 Prozessgasleitungen:
    • Argon (Arbeitsgas)
    • Stickstoff (Reaktivgas)
    • Sauerstoff (Reaktivgas)
    • Acetylen (für DLC-Schichten)

PVD-Anlage (innen)

Kalottenschliff einer Multilayerschicht


zurück